電阻率測試系統

電阻率測試系統是集霍爾效應、磁阻、I-V特性等測試于一體的全自動(dòng)化測試系統。系統全面地考慮了儀表配置、電路接線(xiàn)（包括室溫和低溫的接線(xiàn)）等用戶(hù)經(jīng)常忽略的問(wèn)題，選取了美國Keithley的電測量?jì)x表，磁場(chǎng)根據用戶(hù)需要采用電磁鐵或無(wú)液氦超導磁體， 配備靈巧的測量樣品桿，加上全自動(dòng)化的測試軟件，能讓用戶(hù)快速方便地進(jìn)行樣品測試，并獲得準確可靠的數據。

電阻率測試系統主要特點(diǎn):

1）標準系統使用插入式樣品夾具，樣品安裝方便；

2）基本配置一次zui多可以加裝四個(gè)樣品， 并同時(shí)可以對兩個(gè)樣品進(jìn)行測試；

3）標準系統隨機配送一個(gè)探針樣品卡；

4）標準系統可以進(jìn)行不同磁場(chǎng)下的霍爾效應、I-V特性的測量；

5）電阻測量范圍寬：0.1mΩ—50GΩ（高阻系統），測量的不確定度為2%；

6）測試過(guò)程和計算過(guò)程由軟件自動(dòng)執行，節省了大量的時(shí)間；

7）軟件可以顯示測量結果和測量曲線(xiàn)；

8）系統磁場(chǎng)采用閉環(huán)控制，可以提供高穩定性的磁場(chǎng)， 同時(shí)解決了磁鐵剩磁問(wèn)題，實(shí)現真正的零磁場(chǎng)；

9）選擇變溫選件，可以進(jìn)行不同溫度下的霍爾效應測量和I-V特性測量。

基本配置組成：

一、測量?jì)x表部分

標準系統： 美國Keithley公司的2400電流表、2700萬(wàn)用表、7709矩陣卡以及接口適配器和GPIB電纜等。

高阻系統：美國Keithley公司的6220電流表、 2182A 納伏表、6485皮安計、 6514靜電計、7001開(kāi)關(guān)盒、7152矩陣卡以及相應的連接電纜、接口適配器和GPIB電纜等。

二、磁場(chǎng)組成部分

電磁鐵系統：

根據用戶(hù)需要的磁場(chǎng)大小來(lái)選購電磁鐵（可見(jiàn)首頁(yè)電磁鐵類(lèi)），然后再選配對應電磁鐵的功率電源。如磁場(chǎng)3T以上需配超導磁體及超導電源。

三、配件部分

測試總成：包括樣品桿及支架總成、 樣品盒模塊、樣品卡和連接測試電纜等；

儀表安裝柜、高性能電腦和液晶顯示器；

電阻率測量系統軟件；

安裝和操作使用手冊等。

系統可測試材料:

半導體材料：

Si、Ge、GaAs、GaN、AlGaAs、CdTe、HgCdTe、CdTe、ZnO、SiC、GeSi、InP、MCT等，以及弱磁半導體和稀磁半導體的薄膜及塊材；

鐵氧體材料；

低阻抗材料：金屬、透明氧化物、弱磁性半導體材料、TMR材料等。

系統基本功能:

可以進(jìn)行霍爾效應、I-V特性（電阻率）及磁電阻（MR）的測量；

可得出參數：霍爾效應——方塊電阻、電阻率、霍爾系數、導電類(lèi)型、霍爾遷移率、載流子濃度；

I-V特性的MR的特性曲線(xiàn)包括：

不同磁場(chǎng)下的I-V特性曲線(xiàn)

不同溫度下的I-V特性曲線(xiàn)

不同磁場(chǎng)下的變溫I-V特性曲線(xiàn)

不同溫度下的變磁場(chǎng)I-V特性曲線(xiàn)

電阻隨溫度、磁場(chǎng)變化的特性曲線(xiàn)

P-B曲線(xiàn)

主要技術(shù)指標:

樣品尺寸：

1）小尺寸雙面樣品卡，面積為12×12mm2（隨機配送10個(gè)）；

2）大尺寸單面樣品卡，面積為50× 50mm2（隨機配送10個(gè)）；

3）探針樣品卡，可測樣品尺寸范圍：1×1mm2, , ～30×30mm2（隨機配送1個(gè)）。

溫度環(huán)境（標準系統不帶變溫選件，只能進(jìn)行室溫下的測量）：

無(wú)液氦超導磁體系統（系統自帶低溫選件， 不用單獨選擇）：1.6K～325K

液氮恒溫器選件：

標準液氮恒溫器： 80K～325K

高溫型液氮恒溫器：80K～500K

循環(huán)制冷機選件（不消耗液氦/液氮等制冷劑）：

標準4K制冷機系統：  4K~325K

高溫4K制冷機系統：  4K~500K

高溫4K制冷機系統：  4K~700K

標準10K制冷機系統： 10K~325K

高溫10K制冷機系統： 10K~500K

高溫10K制冷機系統： 10K~700K

微型制冷機系統：    45K~325K

主要電性指標：